A股中半导体产业链国产替代领域唯一具有离子注入机的上市公司是万业企业，股票代码是600641。
上海万业企业股份有限公司成立于1991年10月，是一家具有新兴产业基因的高科技上市公司。公司通过借助平台优势，依托国内国外两个市场，利用境内与境外两种资源，通过“外延并购+产业整合”的方式，扎实推动公司快速向集成电路产业领域转型。
作为房地产开发与销售的上市公司，万业企业旗下全资子公司凯世通是国内半导体领域IC离子注入机的优质标的，是半导体国产替代领域IC离子注入机唯一的上市公司。
2017年，公司以10亿元自有资金认购上海半导体装备材料产业投资基金，迈出了转型的第一步。
2018年，公司成功收购上海凯世通半导体股份有限公司。凯世通是中国领先的离子注入机研发制造企业，其在全球光伏离子注入领域市占率第一，正在积极开发集成电路离子注入机。收购后，公司正式进入集成电路核心装备产业之一的离子注入机领域。
2019年荣获浦东新区政府颁发的“2018年度浦东新区经济突出贡献企业”称号，荣获界面财联社颁发的界面金勋章 “年度资本创新”、“年度价值企业”两大奖项，荣获每日经济新闻颁发的“最具成长性高端制造产业上市公司”奖项。
