国产光刻机上市公司如下：
广州智光电气股份有限公司，股票简称智光电气002169；
上海飞凯光电材料股份有限公司，股票简称飞凯材料300398；
江苏南大光电材料股份有限公司，股票简称南大光电300346；
沈阳蓝英工业自动化装备股份有限公司，股票简称蓝英装备300293；
常州强力电子新材料股份有限公司，股票简称强力新材300429；
苏州市容大感光科技有限公司，股票简称容大感光300576；
苏州晶瑞化学股份有限公司，股票简称晶瑞股份300655；
苏州苏大维格光电科技股份有限公司，股票简称苏大维格300331。
前四大光刻机上市公司相关介绍如下：
1、智光电气
智光电气主要从事电网安全与控制设备、电机控制与节能设备、供用电控制与自动化设备及电力信息化系统研发、设计、生产和销售。公司已建立了以测控技术、电力电子技术、通信技术和应用软件技术为基础的核心技术平台，形成了面向电气控制与自动化前沿领域的产品布局。
2、飞凯材料300398
公司成立于2002年，总部和研发中心位于上海市宝山，在安徽省安庆市、广东省惠州市、江苏省南京市均建有大规模生产基地；并在杭州、苏州、深圳、台湾高雄，以及美国旧金山、亚特兰大、日本、韩国首尔、印度班加罗尔等地设有办事机构或联络点，构成了以上海为中心的国内外销售服务网络。
3、南大光电300346
3月27日晚间，南大光电发布了2018年业绩公告。公告中提到，南大光电在报告期内实现营业收入22，817.49万元，同比上升28.76%。电子特气产品已在LED行业取得主要的市场份额，并实现了在IC行业的快速替代进口，得到了广大客户的高度认可，已成为公司新的利润增长点。
4、蓝英装备300293
蓝英装备于2019年4月25日披露年报，公司2018年实现营业总收入17.3亿，同比增长28.1%；实现归属于母公司所有者的净利润1616.1万，同比增长124.8%；每股收益为0.06元。19年一季度公司实现营业总收入4.1亿，同比增长10.8%；归属于母公司所有者的净利润966.8万，同比增长4.8%。
